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O3 System
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O3 System
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產品介紹
產品概要
·用無聲放電法把 O2轉化為高濃度，高流速的 O3應用到半導體工藝
產品特性
·高純度，高濃度臭氧
·無消耗品，節省費用
·小型化及模塊化
·O2 流量范圍可實現工藝靈活性調整
·經驗證的Cell結構設計可生產高濃度臭氧
·閉環操作，更嚴格的過程控制
·高氧化還原電位