Normal AGV
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Normal AGV
TVS-MF160Z
產品介紹
產品概要
用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進行隔離。
· 為了保持設備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態和作業等引起的污染，必要時進行隔離。
· 正常Process以外設備或Fore-line作業時，從上部Condition到Pump 進行隔離，防止Pump過載或受污染。可防止設備或Fore-line 作業時，Pump 停止后重啟而導致的Fail現象。
· Pump Trip時快速關閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現象,→保護Chamber和Wafer免受Particle 等污染。
產品性能
· Soft Pumping 功能；
· Quick Closing (0.3~0.4s)；
· 通過Pump/設備端通信可 Auto Close及Monitoring；
· Vibration & Particle free -In-Line Gate Valve；
· 性價比高；