產品概要

用途:安裝在 Vacuum Pump 前端，使 主設備及 Fore-line 和 Vacuum Pump 進行隔離。

·  為了保持設備或Fore-line清潔度和真空度.免受因Pump異常狀態和作業等引起的污染，必要時進行隔離。

·  正常Process以外設備或Fore-line作業時，從上部Condition到Pump 進行隔離，防止Pump過載或受污染?？煞乐乖O備或Fore-line 作業時，Pump 停止后重啟而導致的Fail現象。

·  Pump Trip時快速關閉，從而防止或*小化 背壓 & 污染源逆流現象,→保護Chamber和Wafer免受Particle 等污染。

產品性能

·  Soft Pumping 功能；

·  Quick Closing (0.4~0.6s)；

·  通過Pump/設備端通信可 Auto Close及Monitoring；

·  Powder & Particle Protection 功能；

·  Powder 多的工藝適用；