15KW PPS
產品中心
15KW PPS
15KW PPS
產品介紹
產品概要
·安裝在 Chamber 和 Vacuum Pump之間用Plasma分解Gas的系統
產品用途
·減少地球溫室效應 Gas（ N2O, NF3, CH4, SF6…）的排放量為目的
·解決環境問題及FAB內環境安全問題
·分解Vacuum Line中生成的制程物，以安全Gas和Powder形式排放
·有助于Vacuum Pump及 Scrubber的MTBF延長
適用Process
·High-K ZrO2 , HfO2, Harp USG Process 等等